衡阳真空机电设备有限公司
企业简介
  衡阳真空机电公司生产的磁控溅射电源是采用先进的逆变技术制造,其稳定、可靠、轻便、高效、节能、经问世便替代了传统的变压器、可控硅电源,被专家称为真空镀膜生产的一次革命。 逆变电源是采用大功率器件V-MOS场效管,将50/60Hz的工作频率换为高频(如40KHz以上),再升压整流,通过脉宽调制技术(PWM)输出大功率可控直流源。主变压器的重量、体积大幅度下降,效率提高30%以上;灭弧系统采用高频振荡原理,有效的抑制靶面打火;灭弧速度快,约为400微秒(AE公司为25~500微秒);抗短路功能强;电子电抗具有的负载匹配能力,提高沉积速率,增加膜层厚度,工艺冗余范围宽;稳流精度高,工艺稳定,重复性好。 其特点:高效节能,可达30%以上。紧凑轻便、整机风冷、长期稳定性好,模块化设计,可N+1备份,稳定可靠,保障安全生产,设有标准外部控制接口,可由微机或PLC控制,可并联得到大功率输出(如200Kw)等独特的优点。 衡真磁控电源广泛用于:太阳能镀膜、ITO、LOW-E、高反射镜、工具镀膜、特殊LCD镀膜、科研、电子元件、光学及装饰行业表面镀膜。PVD、CVD技术以金属,半导体靶材溅射高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质,化合物膜层。 欢迎各界朋友使用衡阳真空机电公司产品,不足之处,请给予建议,在你的建议之下,我们致力将产品和服务做得尽善尽美。
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