衡阳真空机电设备有限公司

  衡阳真空机电公司生产的磁控溅射电源是采用先进的逆变技术制造，其稳定、可靠、轻便、高效、节能、经问世便替代了传统的变压器、可控硅电源，被专家称为真空镀膜生产的一次革命。 逆变电源是采用大功率器件V-MOS场效管，将50/60Hz的工作频率换为高频（如40KHz以上），再升压整流，通过脉宽调制技术（PWM）输出大功率可控直流源。主变压器的重量、体积大幅度下降，效率提高30%以上；灭弧系统采用高频振荡原理，有效的抑制靶面打火；灭弧速度快，约为400微秒（AE公司为25～500微秒）；抗短路功能强；电子电抗具有的负载匹配能力，提高沉积速率，增加膜层厚度，工艺冗余范围宽；稳流精度高，工艺稳定，重复性好。 其特点：高效节能，可达30%以上。紧凑轻便、整机风冷、长期稳定性好，模块化设计，可N+1备份，稳定可靠，保障安全生产，设有标准外部控制接口，可由微机或PLC控制，可并联得到大功率输出（如200Kw）等独特的优点。 衡真磁控电源广泛用于：太阳能镀膜、ITO、LOW-E、高反射镜、工具镀膜、特殊LCD镀膜、科研、电子元件、光学及装饰行业表面镀膜。PVD、CVD技术以金属，半导体靶材溅射高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质，化合物膜层。 欢迎各界朋友使用衡阳真空机电公司产品，不足之处，请给予建议，在你的建议之下，我们致力将产品和服务做得尽善尽美。